氣體質量流量控制器的校準步驟通常涉及多個環(huán)節(jié)，以確保其測量和控制流量的準確性。以下是詳細的校準步驟：
一、環(huán)境條件準備
溫度與濕度：確保校準環(huán)境穩(wěn)定，溫度控制在（20±5）℃，濕度在45%RH~75%RH范圍內。
無干擾：校準過程中應無大氣壓力突變、振動干擾及磁場干擾。
二、設備檢查與連接
設備檢查：確認
氣體質量流量控制器及其配套設備（如肥皂膜流量計、U型管壓力計、秒表、數(shù)字萬用表、氣瓶等）完好無損，量程和精度符合要求。
管道清潔：清潔管道以確保密封性。
設備連接：正確連接氣瓶、被檢控制器、肥皂膜流量計和U型管壓力計，確保各連接部位無漏氣現(xiàn)象。
三、校準步驟
1.外觀與初步檢查：
檢查控制器外觀是否損壞，按鍵是否正常，顯示屏是否清晰。
打開電源，預熱15分鐘以上，觀察顯示流量值是否為零，不為零則進行清零操作。
2.管道連接與檢漏：
根據(jù)被檢控制器流量范圍選擇量程合適的標準流量計。
連接好氣路，確保接口處密封無泄漏。對于高壓氣體，應增加氣密性檢驗步驟。
3.示值誤差校準：
通過調節(jié)閥或流量計設置多個不同的流量點（如滿量程的0%、25%、50%、75%、100%）。
記錄標準流量計和被檢流量計的讀數(shù)，計算示值誤差。
重復測量多次，取平均值以提高準確性。
4.響應時間校準：
設定一個流量階躍變化（如從0%到50%或從50%到100%）。
同時啟動秒表，記錄被檢控制器響應達到穩(wěn)定所需時間。
響應時間應滿足技術規(guī)格書要求，否則需調整內部參數(shù)或更換部件。
5.重復性校準：
選擇2~3個不同流量點進行重復性測試。
每個流量點重復測量多次（如6次），記錄讀數(shù)并計算重復性誤差。
確保重復性滿足要求，以證明控制器的一致性和可靠性。
6.控制性能校準：
如果具備外部控制功能，還需進行控制性能校準。
通過外部模擬信號或通信接口發(fā)送控制命令，觀察被檢控制器執(zhí)行動作的準確性和及時性。
四、數(shù)據(jù)記錄與報告編制
數(shù)據(jù)記錄：詳細記錄校準過程中的各項數(shù)據(jù)，包括流量設定值、標準流量計讀數(shù)、被檢流量計讀數(shù)、時間、溫度等環(huán)境條件。
結果判斷：根據(jù)校準數(shù)據(jù)判斷被檢控制器的示值誤差、重復性和響應時間等指標是否符合技術規(guī)格書要求。對于不合格項，需進行調整或維修后重新校準。
報告編制：整理校準數(shù)據(jù)，編制校準報告。報告應包含被校儀器信息、校準依據(jù)、校準項目、校準數(shù)據(jù)、不確定度/準確度等級、校準結論等內容。
五、歸檔保存
將校準報告存檔備查，以便后續(xù)追溯和質量控制。
遵循上述校準步驟，可以確保氣體質量流量控制器的準確性和可靠性，滿足實驗和工業(yè)應用的需求。
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